石墨(mo)盤根用(yong)碳(tan)纖維絲與石墨(mo)線(xian)等材(cai)料組合織(zhi)造(zao)，並用(yong)鎳絲增強(qiang)盤根的(de)機械強(qiang)度(du)，添加石墨(mo)油潤(run)滑(hua)劑(ji)。該產品有(you)高(gao)碳(tan)盤根的(de)特(te)性和柔性(xing)石墨(mo)盤根的(de)出(chu)色功用(yong)，具有(you)自(zi)潤(run)滑(hua)、高強(qiang)度(du)、耐高(gao)低溫、耐腐蝕(shi)等優(you)異功用(yong)。廣泛(fan)適用(yong)於高溫高壓(ya)閥門(men)密封。

在(zai)外(wai)延成(cheng)長(chang)領域(yu)，高(gao)純(chun)石墨(mo)盤是必不(bu)可(ke)少的。它在(zai)外(wai)延(yan)成長(chang)中起(qi)到加熱和裝載半(ban)導(dao)體晶(jing)圓的作用(yong)。現在(zai)，主(zhu)流外延(yan)設備(bei)廠商(shang)配(pei)套(tao)的(de)石墨(mo)盤在結構上基本(ben)相(xiang)同，均采(cai)用在(zai)石墨(mo)盤基座(zuo)上規劃(hua)壹個(ge)晶圓形狀的淺(qian)凹槽的(de)方(fang)式來裝載晶(jing)圓(yuan)。這(zhe)種規(gui)劃在成長(chang)小(xiao)尺度(du)的(de)晶圓(yuan)(比如說(shuo)4寸(cun)半(ban)導(dao)體晶(jing)圓)來說(shuo)是合理的(de)，保護(hu)起(qi)來也很方(fang)便(bian)。但(dan)對(dui)於成長(chang)大(da)尺度(du)的(de)外延(yan)片，基於下(xia)降(jiang)晶(jing)圓(yuan)被旋(xuan)轉的(de)石墨(mo)盤甩出的風(feng)險，晶(jing)圓(yuan)槽底(di)部(bu)相對於石墨(mo)盤頂部(bu)的高度比小(xiao)尺度(du)石墨(mo)盤大(da)壹些(xie)。