石(shi)墨(mo)盤(pan)根用碳(tan)纖維(wei)絲與(yu)石(shi)墨(mo)線(xian)等(deng)材(cai)料(liao)組合(he)織(zhi)造(zao)，並用鎳絲增強(qiang)盤(pan)根的(de)機械強(qiang)度(du)，添加石(shi)墨(mo)油(you)潤滑(hua)劑(ji)。該(gai)產(chan)品(pin)有(you)高(gao)碳(tan)盤(pan)根的(de)特(te)性(xing)和柔性(xing)石(shi)墨(mo)盤(pan)根的(de)出(chu)色(se)功(gong)用，具(ju)有自潤滑(hua)、高(gao)強(qiang)度(du)、耐(nai)高(gao)低(di)溫(wen)、耐(nai)腐(fu)蝕(shi)等(deng)優異功(gong)用。廣(guang)泛(fan)適用(yong)於高(gao)溫(wen)高(gao)壓(ya)閥門密封。

在(zai)外(wai)延(yan)成長領(ling)域，高(gao)純石(shi)墨(mo)盤(pan)是(shi)必(bi)不可(ke)少的(de)。它在(zai)外(wai)延(yan)成長中起(qi)到加(jia)熱和裝(zhuang)載(zai)半(ban)導體(ti)晶圓(yuan)的(de)作(zuo)用。現在(zai)，主流(liu)外(wai)延(yan)設備廠商配套的(de)石(shi)墨(mo)盤(pan)在(zai)結(jie)構上基(ji)本(ben)相同，均采用在(zai)石(shi)墨(mo)盤(pan)基(ji)座上規(gui)劃壹個(ge)晶圓(yuan)形狀(zhuang)的(de)淺(qian)凹(ao)槽的(de)方式來裝(zhuang)載(zai)晶圓(yuan)。這種(zhong)規(gui)劃在(zai)成長(chang)小尺(chi)度的(de)晶(jing)圓(yuan)(比如(ru)說4寸(cun)半(ban)導體(ti)晶圓(yuan))來說是合(he)理的(de)，保(bao)護起(qi)來也很(hen)方便。但對於成長(chang)大(da)尺(chi)度的(de)外(wai)延(yan)片(pian)，基於下(xia)降晶圓(yuan)被旋(xuan)轉的(de)石(shi)墨(mo)盤(pan)甩(shuai)出(chu)的(de)風(feng)險，晶圓(yuan)槽底部相對於石(shi)墨(mo)盤(pan)頂部的(de)高(gao)度(du)比小尺(chi)度石(shi)墨(mo)盤(pan)大(da)壹些。