石墨盤(pan)根(gen)用碳纖維絲與(yu)石墨線等材料(liao)組合(he)織(zhi)造，並(bing)用鎳絲增(zeng)強盤(pan)根(gen)的(de)機械強(qiang)度(du)，添(tian)加石墨油潤滑(hua)劑。該產(chan)品有(you)高碳盤(pan)根(gen)的(de)特性(xing)和柔性(xing)石墨盤(pan)根(gen)的(de)出色(se)功用，具有(you)自(zi)潤滑(hua)、高強度(du)、耐(nai)高低溫(wen)、耐(nai)腐蝕等(deng)優(you)異功用。廣泛適(shi)用於高溫(wen)高壓閥門密(mi)封。

在外延成長領(ling)域(yu)，高純(chun)石墨盤(pan)是必(bi)不可(ke)少(shao)的。它(ta)在(zai)外延成長中(zhong)起(qi)到加熱(re)和裝載半(ban)導體晶(jing)圓的(de)作(zuo)用。現在，主(zhu)流(liu)外延設(she)備廠商配(pei)套的(de)石墨盤(pan)在(zai)結構(gou)上基本(ben)相(xiang)同(tong)，均(jun)采(cai)用在石墨盤(pan)基座(zuo)上(shang)規劃(hua)壹(yi)個晶(jing)圓(yuan)形狀(zhuang)的(de)淺(qian)凹(ao)槽(cao)的(de)方(fang)式來裝(zhuang)載晶(jing)圓(yuan)。這種規劃(hua)在(zai)成(cheng)長(chang)小(xiao)尺度(du)的(de)晶(jing)圓(yuan)(比如(ru)說4寸半導體晶(jing)圓)來(lai)說(shuo)是合理(li)的，保(bao)護起來(lai)也(ye)很方(fang)便。但對(dui)於(yu)成(cheng)長大尺度(du)的(de)外延片，基於下降(jiang)晶(jing)圓(yuan)被旋(xuan)轉的(de)石墨盤(pan)甩(shuai)出的風(feng)險，晶(jing)圓槽(cao)底(di)部(bu)相(xiang)對(dui)於(yu)石墨盤(pan)頂(ding)部(bu)的高度(du)比小(xiao)尺度(du)石墨盤(pan)大(da)壹(yi)些。