石(shi)墨(mo)盤(pan)根(gen)用(yong)碳(tan)纖(xian)維絲(si)與石(shi)墨(mo)線等材(cai)料(liao)組合織造，並用(yong)鎳(nie)絲(si)增(zeng)強盤(pan)根的(de)機械(xie)強度，添(tian)加石(shi)墨(mo)油潤滑(hua)劑(ji)。該(gai)產(chan)品(pin)有(you)高碳(tan)盤(pan)根的(de)特(te)性和柔性石(shi)墨(mo)盤(pan)根(gen)的(de)出(chu)色(se)功(gong)用(yong)，具有(you)自潤滑(hua)、高強度、耐(nai)高低(di)溫、耐(nai)腐(fu)蝕等優異功(gong)用(yong)。廣(guang)泛(fan)適(shi)用(yong)於(yu)高溫高壓閥門密(mi)封。

在(zai)外延(yan)成(cheng)長領(ling)域，高純石(shi)墨(mo)盤(pan)是(shi)必不可(ke)少(shao)的(de)。它在(zai)外延(yan)成(cheng)長中(zhong)起到(dao)加熱和裝載半導(dao)體晶圓的(de)作用(yong)。現(xian)在(zai)，主(zhu)流外延(yan)設(she)備(bei)廠(chang)商配套(tao)的(de)石(shi)墨(mo)盤(pan)在(zai)結(jie)構(gou)上(shang)基(ji)本(ben)相同(tong)，均(jun)采(cai)用(yong)在(zai)石(shi)墨(mo)盤(pan)基(ji)座上規劃(hua)壹個(ge)晶(jing)圓(yuan)形(xing)狀(zhuang)的(de)淺(qian)凹(ao)槽(cao)的(de)方(fang)式來裝載晶圓。這(zhe)種(zhong)規劃(hua)在(zai)成(cheng)長小尺(chi)度的(de)晶(jing)圓(yuan)(比(bi)如說4寸(cun)半導(dao)體晶圓)來說是(shi)合理(li)的(de)，保(bao)護(hu)起來也很方便(bian)。但對於(yu)成(cheng)長(chang)大(da)尺(chi)度的(de)外延(yan)片(pian)，基(ji)於(yu)下(xia)降(jiang)晶(jing)圓(yuan)被(bei)旋(xuan)轉(zhuan)的(de)石(shi)墨(mo)盤(pan)甩(shuai)出(chu)的(de)風(feng)險(xian)，晶(jing)圓槽(cao)底(di)部相(xiang)對於(yu)石(shi)墨(mo)盤(pan)頂(ding)部(bu)的(de)高度比(bi)小尺(chi)度石(shi)墨(mo)盤(pan)大(da)壹些。