電子燒(shao)結(jie)過(guo)程所(suo)用的(de)石墨模(mo)具(ju)材料，主(zhu)要為(wei)超(chao)細顆粒(li)結構(gou)、高純度(du)和高石墨化度(du)的石(shi)墨材料，要求其平均(jun)粒(li)徑小(xiao)於(yu)15μm，甚(shen)至(zhi)10μm以(yi)下(xia)，中等(deng)氣(qi)孔尺寸(cun)小(xiao)於(yu)2μm。用(yong)此(ci)炭(tan)素原(yuan)料做(zuo)成(cheng)的(de)石(shi)墨模(mo)，氣(qi)孔率小(xiao)、結(jie)構(gou)致密(mi)、表面光潔度(du)高、抗氧(yang)化性較(jiao)強等優(you)點(dian)，平均(jun)使(shi)用壽(shou)命(ming)可(ke)達30～40次(ci)。利用(yong)人造(zao)石(shi)墨材料熱(re)變(bian)形極(ji)小的(de)特(te)點，可(ke)制(zhi)造(zao)晶(jing)體管的(de)電(dian)子燒(shao)結(jie)石(shi)墨模(mo)具(ju)和支架，現已廣(guang)泛使(shi)用(yong)，它已成(cheng)為(wei)發展(zhan)半導(dao)體工(gong)業不可(ke)缺(que)少(shao)的材料。石(shi)墨模(mo)具(ju)具(ju)有(you)優(you)秀(xiu)的(de)導(dao)熱及(ji)導(dao)電性能(neng)，線(xian)收(shou)縮系數低(di)等很(hen)好的(de)熱穩定(ding)性能(neng)及(ji)抗加熱沖擊(ji)性，具(ju)有(you)良(liang)好(hao)的(de)光(guang)滑和抗磨性，易(yi)於(yu)加(jia)工(gong)，機械(xie)加(jia)工(gong)性能(neng)好，能(neng)夠制(zhi)造(zao)成(cheng)外形復(fu)雜(za)、精(jing)度(du)高的模(mo)具(ju)，耐化學腐蝕(shi)與(yu)多數(shu)金(jin)屬不(bu)易(yi)發作(zuo)反(fan)響(xiang)。捷(jie)誠的精度(du)高，可達0.01mm