電(dian)子燒(shao)結過程(cheng)所用(yong)的石墨模具材料，主要為(wei)超(chao)細(xi)顆(ke)粒(li)結(jie)構、高純度和高石墨化度的石墨材料，要求其平均(jun)粒(li)徑(jing)小於(yu)15μm，甚(shen)至(zhi)10μm以(yi)下(xia)，中(zhong)等(deng)氣(qi)孔(kong)尺(chi)寸(cun)小於(yu)2μm。用此炭(tan)素原(yuan)料做成的石墨模，氣(qi)孔(kong)率(lv)小、結構致密(mi)、表面(mian)光(guang)潔度高、抗(kang)氧(yang)化性(xing)較(jiao)強等(deng)優(you)點，平均(jun)使(shi)用壽命(ming)可(ke)達(da)30～40次。利用人造石墨材料熱變形(xing)極(ji)小(xiao)的(de)特(te)點，可(ke)制(zhi)造晶體(ti)管(guan)的電子(zi)燒(shao)結石墨模具和支(zhi)架(jia)，現已廣(guang)泛使(shi)用，它(ta)已成為(wei)發展半導(dao)體(ti)工業不可(ke)缺少(shao)的材料。石墨模具具有優(you)秀(xiu)的導(dao)熱及導電(dian)性(xing)能(neng)，線收(shou)縮系數(shu)低等很(hen)好(hao)的熱穩定(ding)性(xing)能(neng)及抗(kang)加(jia)熱沖擊性(xing)，具有良(liang)好(hao)的光(guang)滑(hua)和(he)抗(kang)磨(mo)性(xing)，易於(yu)加(jia)工，機(ji)械(xie)加(jia)工性(xing)能(neng)好(hao)，能(neng)夠制(zhi)造成外形(xing)復(fu)雜(za)、精度高的(de)模具，耐(nai)化學(xue)腐(fu)蝕與多(duo)數金(jin)屬不易發作反(fan)響(xiang)。