電子燒(shao)結(jie)過(guo)程(cheng)所(suo)用的石墨模(mo)具(ju)材(cai)料，主要為超細(xi)顆粒結(jie)構(gou)、高純度(du)和(he)高石墨化(hua)度(du)的(de)石墨材(cai)料(liao)，要求(qiu)其(qi)平均粒徑小(xiao)於(yu)15μm，甚(shen)至10μm以下(xia)，中等氣(qi)孔尺寸小(xiao)於(yu)2μm。用此炭(tan)素原料(liao)做(zuo)成(cheng)的(de)石墨模(mo)，氣(qi)孔率小(xiao)、結構致(zhi)密(mi)、表(biao)面光(guang)潔(jie)度(du)高、抗氧化性較(jiao)強(qiang)等(deng)優點，平均使用壽命可達(da)30～40次(ci)。利(li)用人(ren)造石(shi)墨材(cai)料(liao)熱(re)變(bian)形(xing)極小(xiao)的特點，可制造晶(jing)體(ti)管(guan)的電子燒(shao)結(jie)石墨模(mo)具(ju)和(he)支架，現已(yi)廣(guang)泛(fan)使用(yong)，它已(yi)成(cheng)為(wei)發展半(ban)導體工(gong)業(ye)不可缺(que)少的材(cai)料(liao)。石墨模(mo)具(ju)具(ju)有(you)優(you)秀(xiu)的(de)導熱(re)及(ji)導電性(xing)能(neng)，線收縮(suo)系數低(di)等很好的(de)熱(re)穩(wen)定(ding)性(xing)能(neng)及(ji)抗加熱(re)沖(chong)擊(ji)性，具(ju)有(you)良(liang)好的(de)光(guang)滑和(he)抗(kang)磨(mo)性，易(yi)於(yu)加工(gong)，機械加工(gong)性(xing)能好，能(neng)夠制造成(cheng)外形復雜(za)、精(jing)度(du)高的模(mo)具(ju)，耐(nai)化學(xue)腐(fu)蝕(shi)與多數金(jin)屬(shu)不易(yi)發作(zuo)反響。