單(dan)晶爐是(shi)壹種在(zai)惰性氣(qi)體(ti)（氮氣(qi)、氦氣(qi)為主(zhu)）環(huan)境(jing)中(zhong),用(yong)石(shi)墨(mo)加熱器將多(duo)晶矽等(deng)多(duo)晶材(cai)料(liao)熔化(hua),用(yong)直(zhi)拉法生(sheng)長(chang)無錯(cuo)位(wei)單(dan)晶的設(she)備。單(dan)晶爐裝(zhuang)料量(liang)（單(dan)臺(tai)機(ji)產能多(duo)少(shao)） 2. 能拉多(duo)長(chang)、幾寸的(de)矽(gui)棒(bang) 3. 拉制(zhi)晶棒的(de)成品率是多(duo)少(shao)4拉出矽(gui)棒(bang)品質（少(shao)子(zi)壽(shou)命、電(dian)阻率、碳氧(yang)含(han)量、位錯(cuo)密(mi)度） 5設(she)備制(zhi)造(zao)工藝(yi)控(kong)制(zhi)保(bao)證(zheng) 6自動(dong)化(hua)控(kong)制(zhi)程(cheng)度 7設(she)備主(zhu)要關鍵部(bu)件(jian)的(de)配(pei)置(zhi)等(deng) 。單(dan)晶爐型(xing)號有(you)兩種命名(ming)方式(shi)，壹(yi)種為投(tou)料(liao)量(liang)，壹(yi)種為爐(lu)室(shi)直(zhi)徑(jing)。比如85爐，是(shi)指(zhi)主(zhu)爐筒(tong)的(de)直(zhi)徑(jing)大(da)小(xiao)，120、150等型號是(shi)由(you)裝料量來(lai)決(jue)定的(de)