隨著社會(hui)經(jing)濟(ji)的(de)發(fa)展(zhan),很多單晶矽(gui)廠家在石(shi)墨(mo)熱場(chang)的(de)使(shi)用上都比(bi)較(jiao)熟練。 有(you)兩(liang)個原因(yin):
正(zheng)面,石(shi)墨(mo)氈保溫(wen)效(xiao)果好(hao),厚度達(da)到100mm,有(you)效(xiao)保(bao)證(zheng)了(le)徑(jing)向梯(ti)度溫(wen)度可能很小(xiao)的(de)情況(kuang)。
壹(yi)、長熱的(de)原因(yin)是石(shi)墨(mo)坩(gan)堝的(de)厚度可以(yi)達到250mm,而(er)上(shang)、中(zhong)、下(xia)保溫(wen)桶的(de)口徑可以(yi)足夠大(da),有(you)足夠的(de)縱(zong)向散(san)熱。 眾(zhong)所(suo)周知(zhi),石(shi)墨(mo)坩(gan)堝在使用(yong)過(guo)程中(zhong)存(cun)在的(de)問(wen)題(ti)會(hui)減(jian)少石(shi)墨(mo)坩(gan)堝的(de)使(shi)用時間,也(ye)會(hui)增(zeng)加廠(chang)家自(zi)身(shen)的(de)成本。 如果(guo)您(nin)有制(zhi)造(zao)石(shi)墨(mo)坩(gan)堝和熱場(chang)加工零件的(de)經(jing)驗,我們(men)來(lai)詳細談談石(shi)墨(mo)熱。 現場(chang)生(sheng)產(chan)中(zhong)的(de)常(chang)見(jian)問(wen)題(ti),我(wo)們(men)應(ying)該如何(he)處(chu)理(li)。
1.特(te)殊(shu)的(de)抗(kang)熱震性(xing)。 石(shi)墨(mo)的(de)熱(re)膨(peng)脹(zhang)是(shi)各(ge)向異(yi)性(xing)的(de),所(suo)以(yi)微觀(guan)膨(peng)脹(zhang)系(xi)數(shu)不(bu)大。 在溫(wen)度突(tu)然(ran)變化(hua)的(de)情況(kuang)下(xia),石(shi)墨(mo)的(de)體(ti)積變(bian)化不(bu)大。 導熱性(xing)好(hao),因(yin)此(ci)石(shi)墨(mo)的(de)抗(kang)熱震性(xing)非常(chang)好(hao)。 如上(shang)兩(liang)點(dian)所(suo)述,石(shi)墨(mo)熱場(chang)零件應能(neng)在高(gao)溫(wen)下(xia)長期穩定工作(zuo)。
正(zheng)常(chang)情況(kuang)下(xia),與保溫(wen)罩(zhao)、加熱(re)器(qi)等其(qi)他石(shi)墨(mo)設備(bei)相比(bi),翻板坩(gan)堝的(de)材質(zhi)相同、廠(chang)家相同、工作(zuo)環境(jing)相同。 為(wei)什(shen)麽(me)使(shi)用(yong)壽(shou)命遠低(di)於(yu)保(bao)溫(wen)罩(zhao)和加熱(re)器(qi)? 三葉坩(gan)堝開裂(lie)的(de)主(zhu)要(yao)原因(yin)來自(zi)石(shi)英(ying)坩(gan)堝。 1、由於(yu)熔融矽(gui)的(de)密度大(da)於(yu)固(gu)態矽(gui),在冷卻(que)過(guo)程中(zhong),鍋底料(liao)會(hui)破(po)壞石(shi)英(ying)坩(gan)堝,將(jiang)石(shi)英(ying)坩(gan)堝裝(zhuang)在三葉坩(gan)堝上。 , 當石(shi)英(ying)坩(gan)堝劈裂(lie)產生的(de)應(ying)力(li)大於(yu)三葉坩(gan)堝所承受的(de)應(ying)力(li)時,三葉坩(gan)堝就會(hui)開(kai)裂(lie),這(zhe)就是(shi)為什(shen)麽(me)坩(gan)堝底料過(guo)多(duo)會(hui)使(shi)三葉坩(gan)堝爆裂(lie)的(de)原因(yin) . 2、加熱(re)時間過(guo)長,石(shi)英(ying)坩(gan)堝質(zhi)量不(bu)夠好(hao),原料(liao)PH值(zhi)不(bu)符合要(yao)求,會(hui)導致漏(lou)矽(gui)、滲矽(gui)。 就是(shi)使三瓣鍋相互(hu)粘連(lian),清爐時可能會(hui)分(fen)別形成裂(lie)紋。 3、在加熱(re)過(guo)程中(zhong),只有三葉坩(gan)堝的(de)熱(re)源來自(zi)兩(liang)個方面(mian),壹(yi)是加熱(re)器(qi)的(de)輻(fu)射,二是石(shi)英(ying)坩(gan)堝的(de)傳(chuan)導,導致三葉坩(gan)堝在 受熱(re)不(bu)均(jun)勻(yun),受(shou)熱時向壹(yi)定方(fang)向膨(peng)脹(zhang)。 大(da),向其(qi)他方(fang)向收(shou)縮,然(ran)後(hou)導致三瓣鍋開裂(lie)。
熱場(chang)的(de)組(zu)成部(bu)分(fen),如加熱(re)器(qi)、三葉坩(gan)堝、石(shi)墨(mo)支架(jia)、隔(ge)熱罩(zhao)等,均(jun)由石(shi)墨(mo)制成。 在生產(chan)過(guo)程中(zhong),經常(chang)會(hui)遇(yu)到加熱(re)設備(bei)損(sun)壞的(de)現(xian)象,那(na)麽石(shi)墨(mo)設備(bei)損(sun)壞的(de)原因(yin)是什(shen)麽(me),應(ying)該(gai)采(cai)用(yong)什(shen)麽(me)方(fang)法(fa)來(lai)延長石(shi)墨(mo)設備(bei)的(de)使(shi)用壽命呢? 石(shi)墨(mo)設備(bei)的(de)損(sun)壞主(zhu)要(yao)是(shi)人(ren)為(wei)和(he)變質(zhi)造成的(de)。 在人的(de)方(fang)面,只要(yao)加強(qiang)管(guan)理(li),增(zeng)強(qiang)員(yuan)工的(de)防(fang)備(bei)意識,就(jiu)能(neng)將(jiang)損(sun)失降到更低(di)的(de)水平。 這(zhe)裏的(de)主(zhu)要(yao)討(tao)論(lun)是惡化(hua)。 首(shou)先我(wo)們(men)來(lai)了(le)解(jie)壹(yi)下石(shi)墨(mo)的(de)相關(guan)特(te)性(xing),
2、耐(nai)高(gao)溫(wen),石(shi)墨(mo)熔點高(gao),真(zhen)空(kong)中(zhong)3850度,低(di)壓下溫(wen)度2200度。 與(yu)普(pu)通(tong)材料不(bu)同的(de)是(shi),當溫(wen)度升(sheng)高(gao)時,石(shi)墨(mo)不(bu)僅(jin)不(bu)會(hui)軟化,還(hai)會(hui)增(zeng)加強(qiang)度。 在2500℃溫(wen)度升(sheng)高(gao)時,石(shi)墨(mo)的(de)抗(kang)拉(la)強(qiang)度增(zeng)加壹(yi)倍。
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