直(zhi)拉單晶爐(lu)的(de)熱系(xi)統,也(ye)就是(shi)所謂(wei)的熱場(chang),石(shi)墨熱場(chang)系(xi)統的(de)作(zuo)用(yong)是(shi)指(zhi)為了(le)熔化矽料,並(bing)使單(dan)晶(jing)生(sheng)長(chang)保持(chi)在(zai)必定(ding)溫度(du)下(xia)進(jin)行(xing)的(de)整個系(xi)統。
石(shi)墨熱場(chang)壹般包(bao)含(石(shi)墨材料(liao))壓環、保溫蓋、上中(zhong)下(xia)保(bao)溫(wen)罩(zhao)、石(shi)墨坩堝(guo)(三(san)瓣(ban)堝(guo))、坩(gan)堝(guo)托(tuo)桿(gan)、坩堝(guo)托(tuo)盤(pan)、電(dian)極(ji)、加(jia)熱(re)器、導流筒、石墨螺(luo)栓(shuan),且為了(le)防(fang)止漏(lou)矽,爐(lu)底(di)、金(jin)屬電(dian)極(ji)、托(tuo)桿(gan)、都設(she)置了(le)保(bao)護(hu)板、保護(hu)套(tao)。
單(dan)晶(jing)爐(lu)石(shi)墨熱場(chang)簡略(lve)的(de)說就是(shi)用來(lai)拉單晶矽的整(zheng)套石(shi)墨加熱(re)系(xi)統。常(chang)見的是(shi)18寸、22寸和24寸的石(shi)墨熱場(chang)。壹種盛行(xing)的(de)石墨熱場(chang)職業標(biao)準規(gui)劃規(gui)劃方(fang)案(an)是選用(yong)石(shi)墨材料(liao)制(zhi)造熱場(chang)隔(ge)熱(re)部(bu)件。標準的(de)石墨保溫(wen)材(cai)料由板狀或(huo)許(xu)多(duo)層(ceng)毯狀石墨化碳纖維材料(liao)組(zu)成,在(zai)接近熱場(chang)中(zhong)心(xin)的(de)內表(biao)面往往需求(qiu)加(jia)覆(fu)壹層(ceng)石墨紙或(huo)碳碳復合材料(liao)薄(bo)板用來(lai)提高(gao)熱反(fan)射率和防(fang)止高(gao)壓氣流的(de)沖(chong)刷(shua)。
因為等(deng)靜壓石墨熱場(chang)材(cai)料(liao)自(zi)身(shen)所具(ju)有的(de)多孔(kong)性(xing)和(he)可滲(shen)透(tou)性,各(ge)層(ceng)隔熱材料(liao)之間(jian)不(bu)需求(qiu)預(yu)留額(e)定(ding)的空間。石墨材料(liao)具(ju)有優(you)異的隔(ge)熱(re)性(xing)能(neng),本(ben)錢壹般較金(jin)屬屏低(di),而(er)且十(shi)分(fen)易於使用(yong)。就制(zhi)造本(ben)錢,耐用(yong)性和(he)可維護性(xing)而(er)言,石(shi)墨隔熱(re)軟氈(zhan)較(jiao)石(shi)墨隔熱(re)硬氈(zhan)具(ju)有必(bi)定的(de)優(you)勢(shi)。經(jing)過(guo)生(sheng)產(chan)實(shi)踐(jian),金(jin)屬隔熱(re)屏往往不(bu)適於(yu)環(huan)境(jing)惡(e)劣的(de)真(zhen)空釬焊工(gong)藝(yi)。
石墨熱場(chang)廠家(jia)用石(shi)墨材料(liao)制(zhi)造石墨熱場(chang)的(de)隔(ge)熱(re)部(bu)件,實(shi)踐(jian)證(zheng)明,雖然(ran)在(zai)釬焊工(gong)藝(yi)中(zhong)會(hui)有(you)許多(duo)焊料沈積(ji)在(zai)石墨隔熱(re)材(cai)料的表(biao)面,但是卻不(bu)會(hui)產(chan)生(sheng)熔解(jie)的(de)焊(han)料(liao)與石墨隔熱(re)材(cai)料的熔合(he)現象(xiang)。雖然(ran)有(you)人(ren)會(hui)質(zhi)疑(yi),以為石(shi)墨材料(liao)比(bi)金(jin)屬材料(liao)更(geng)簡略(lve)吸(xi)收(shou)水(shui)分(fen),水(shui)分(fen)對釬焊工(gong)藝(yi)進(jin)程(cheng)危(wei)害很(hen)大,但是,實(shi)踐(jian)證(zheng)明熱場(chang)循環往復的(de)升(sheng)溫(wen)與降溫(wen)會(hui)很(hen)好(hao)地(di)排(pai)除(chu)石(shi)墨隔熱(re)材(cai)猜(cai)中(zhong)的水(shui)分(fen)。
石墨熱場(chang)的(de)特(te)性(xing)如(ru)下(xia):
壹.單(dan)晶矽石墨熱場(chang),是(shi)壹個及物理,化學(xue),幾何(he)歸(gui)納理論(lun)為壹體(ti),專門研(yan)究人員經(jing)過(guo)多(duo)年(nian)重復考證(zheng)。多年(nian)經(jing)驗(yan)總(zong)結擬定(ding)。
二(er).熱場(chang)選用(yong)細(xi)結構(gou)中(zhong)粗石墨做爐(lu)底(di)護盤(pan),保(bao)溫(wen)罩,上下(xia)蓋。選用(yong)進(jin)口(kou)等靜壓石墨做加(jia)熱(re)器,坩堝(guo),導(dao)流筒,托(tuo)桿(gan),鍋(guo)托(tuo)等(deng),保證(zheng)了(le)石(shi)墨坩堝(guo)的(de)強(qiang)度(du)及純度(du)。
三.熱(re)場(chang)是(shi)單(dan)晶(jing)矽成晶的重要(yao)條件之壹,熱(re)場(chang)的(de)梯(ti)度(du)分(fen)布直接影響著(zhe)能(neng)不(bu)能拉出(chu)單晶(jing),以及拉制(zhi)單晶的(de)質(zhi)量(liang)好壞(huai),其(qi)質(zhi)料好壞(huai)直(zhi)接(jie)影響熱場(chang)壽(shou)命。
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