單晶爐(lu)是壹種在惰性氣體(ti)（氮(dan)氣、氦(hai)氣為主(zhu)）環境(jing)中(zhong),用(yong)石墨加熱(re)器(qi)將多(duo)晶矽等多(duo)晶材料(liao)熔化,用(yong)直(zhi)拉(la)法(fa)生長無(wu)錯位(wei)單晶的(de)設(she)備(bei)。單晶爐(lu)裝料(liao)量(liang)（單臺機(ji)產(chan)能(neng)多(duo)少） 2. 能(neng)拉(la)多(duo)長、幾寸的(de)矽(gui)棒 3. 拉(la)制晶(jing)棒的(de)成(cheng)品率是多(duo)少4拉(la)出矽(gui)棒品質(zhi)（少子(zi)壽(shou)命、電(dian)阻(zu)率、碳氧(yang)含(han)量、位(wei)錯密度） 5設(she)備(bei)制造(zao)工(gong)藝控制保證(zheng) 6自動化控制程度 7設(she)備(bei)主要關鍵(jian)部件的(de)配(pei)置等 。單晶爐(lu)型(xing)號有兩種命名方(fang)式，壹種為投(tou)料量，壹種為爐(lu)室(shi)直(zhi)徑。比如85爐(lu)，是指(zhi)主(zhu)爐(lu)筒(tong)的(de)直(zhi)徑大小，120、150等型(xing)號是由(you)裝料量來決定的(de)