在太陽(yang)能(neng)電(dian)池(chi)片的制造過程中，矽(gui)片(pian)進行(xing)其(qi)表面(mian)鍍膜(mo)工序時(shi)，需要(yao)將未鍍膜(mo)的矽(gui)片插入PECVD真空鍍膜(mo)設備(bei)的(de)載(zai)片器(qi)上(shang)，目(mu)前(qian)，載(zai)片器(qi)通(tong)常(chang)采(cai)用(yong)如(ru)圖8所(suo)示(shi)的(de)石墨舟，具體操作過程(cheng)是(shi)：將矽片(pian)插入(ru)石墨舟並(bing)通(tong)過(guo)石墨舟工藝(yi)點定位於其(qi)上(shang)，然(ran)後(hou)，將載(zai)有矽(gui)片(pian)的(de)石墨舟放置(zhi)在PECVD真空鍍膜(mo)設備(bei)中(zhong)，采(cai)用(yong)PECVD工藝(yi)對(dui)矽片進行(xing)鍍膜(mo)。

現有(you)的石墨舟工藝(yi)點主(zhu)要由(you)卡塊和(he)用(yong)於安(an)裝(zhuang)在石墨舟片安(an)裝(zhuang)孔(kong)中(zhong)的(de)柱(zhu)體(ti)形(xing)安(an)裝(zhuang)部(bu)組(zu)成(cheng)，卡塊為(wei)兩(liang)個且對稱(cheng)分(fen)布在安(an)裝(zhuang)部(bu)兩(liang)端(duan)面(mian)上(shang)，卡塊是(shi)自(zi)外向(xiang)內漸(jian)縮(suo)的圓柱(zhu)體(ti)，其端(duan)面(mian)與側(ce)面(mian)之(zhi)間(jian)采(cai)用圓弧過渡面(mian)，卡塊的(de)根(gen)部(bu)與安(an)裝(zhuang)部(bu)的(de)端(duan)面(mian)之(zhi)間(jian)分(fen)別形(xing)成(cheng)用於卡合(he)矽(gui)片的卡槽(cao)。現(xian)有的石墨舟在使(shi)用到30run(次)時，會出現邊(bian)緣(yuan)發白現(xian)象，且(qie)到(dao)後期愈發(fa)嚴(yan)重，且在做(zuo)MUL和(he)NY工藝(yi)時(shi)，工藝(yi)點會燒(shao)焦(jiao)，尤其是(shi)做(zuo)MUL工藝(yi)時(shi)，工藝(yi)點燒焦(jiao)加(jia)重，燒焦(jiao)比(bi)例(li)壹度(du)超(chao)過(guo)30％。因此在日常(chang)生產(chan)中(zhong)，管(guan)式(shi)PECVD石墨舟維修(xiu)及(ji)維護(hu)較(jiao)為(wei)頻(pin)繁(fan)，石墨舟長的工藝(yi)點較(jiao)多，若(ruo)僅靠(kao)人(ren)工安(an)裝(zhuang)，人(ren)工工作量(liang)非常大，安(an)裝(zhuang)效(xiao)率(lv)較(jiao)低(di)。

技(ji)術(shu)實(shi)現要(yao)素：

本實(shi)用新型(xing)要解(jie)決的技(ji)術(shu)問(wen)題(ti)是(shi)：為(wei)了(le)克(ke)服(fu)現有技(ji)術(shu)中管(guan)式(shi)PECVD石墨舟維修(xiu)及(ji)維護(hu)較(jiao)為(wei)頻(pin)繁(fan)，石墨舟長的工藝(yi)點較(jiao)多，若(ruo)僅靠(kao)人(ren)工安(an)裝(zhuang)，人(ren)工工作量(liang)非常大，安(an)裝(zhuang)效(xiao)率(lv)較(jiao)低(di)的(de)問(wen)題(ti)，提(ti)供壹種(zhong)管(guan)式(shi)PECVD石墨舟工藝(yi)點安(an)裝(zhuang)裝(zhuang)置(zhi)。

本實(shi)用新型(xing)解決其技(ji)術(shu)問(wen)題(ti)所(suo)采(cai)用(yong)的(de)技(ji)術(shu)方案(an)是(shi)：壹種(zhong)管(guan)式(shi)PECVD石墨舟工藝(yi)點安(an)裝(zhuang)裝(zhuang)置(zhi)，包括(kuo)石墨舟輸送裝置(zhi)和(he)工藝(yi)點壓裝(zhuang)裝(zhuang)置(zhi)，所(suo)述工藝(yi)點壓裝(zhuang)裝(zhuang)置(zhi)設(she)置(zhi)在所(suo)述石墨舟輸送裝置(zhi)的(de)正上(shang)方。

進壹步(bu)的(de)，所(suo)述石墨舟輸送裝置(zhi)包括(kuo)石墨舟固(gu)定夾具(ju)和驅(qu)動(dong)石墨舟固(gu)定夾具(ju)移動(dong)的(de)移(yi)動(dong)裝(zhuang)置(zhi)，所(suo)述石墨舟固(gu)定夾具(ju)滑動(dong)安(an)裝(zhuang)在所(suo)述移(yi)動(dong)裝(zhuang)置(zhi)上(shang)。

進壹步(bu)的(de)，為(wei)了(le)更(geng)好(hao)的固(gu)定石墨舟，所(suo)述石墨舟固(gu)定夾具(ju)包括(kuo)底板，所(suo)述底(di)板上(shang)固(gu)定安(an)裝(zhuang)有(you)安(an)裝(zhuang)塊，所(suo)述安(an)裝(zhuang)塊上(shang)開(kai)有(you)直(zhi)角(jiao)開口(kou)，兩(liang)個所(suo)述安(an)裝(zhuang)塊對(dui)稱(cheng)設(she)置(zhi)，所(suo)述底(di)板上(shang)開(kai)有(you)螺(luo)紋孔，所(suo)述螺(luo)紋孔內(nei)螺(luo)紋安(an)裝(zhuang)有(you)螺(luo)釘(ding)，所(suo)述底(di)板上(shang)開(kai)有(you)若(ruo)幹(gan)與石墨舟上(shang)的(de)工藝(yi)孔(kong)相應的工藝(yi)盲(mang)孔。

進壹步(bu)的(de)，所(suo)述工藝(yi)盲(mang)孔的深(shen)度(du)與工藝(yi)點中卡塊的(de)高(gao)度(du)相等，便(bian)於在工藝(yi)點的安(an)裝(zhuang)過(guo)程(cheng)中(zhong)，限制工藝(yi)點在該工藝(yi)孔(kong)中的位置(zhi)。

進壹步(bu)的(de)，所(suo)述工藝(yi)點壓裝(zhuang)裝(zhuang)置(zhi)包括(kuo)導(dao)向(xiang)裝置(zhi)和(he)壓點裝置(zhi)，所(suo)述導(dao)向(xiang)裝置(zhi)與(yu)所(suo)述壓(ya)點裝置(zhi)相(xiang)對設置(zhi)。

進壹步(bu)的(de)，所(suo)述導(dao)向(xiang)裝置(zhi)包括(kuo)導(dao)向(xiang)板和驅動(dong)導(dao)向(xiang)板升(sheng)降(jiang)的升(sheng)降(jiang)裝置(zhi)，所(suo)述導(dao)向(xiang)板固(gu)定安(an)裝(zhuang)在所(suo)述升(sheng)降(jiang)裝置(zhi)上(shang)，所(suo)述導(dao)向(xiang)板上(shang)開(kai)有(you)若(ruo)幹(gan)導(dao)向(xiang)孔，若幹(gan)所(suo)述導(dao)向(xiang)孔與石墨舟上(shang)的(de)工藝(yi)孔(kong)相對應，所(suo)述導(dao)向(xiang)板上(shang)表面(mian)導(dao)向(xiang)孔所(suo)在位置(zhi)處固(gu)定安(an)裝(zhuang)有(you)導(dao)向(xiang)套筒(tong)，所(suo)述導(dao)向(xiang)孔與所(suo)述導(dao)向(xiang)套筒(tong)同(tong)軸(zhou)心(xin)。

進壹步(bu)的(de)，所(suo)述壓(ya)點裝置(zhi)包括(kuo)壓板和驅動(dong)壓(ya)板(ban)升(sheng)降(jiang)的升(sheng)降(jiang)裝置(zhi)，所(suo)述壓(ya)板固(gu)定安(an)裝(zhuang)在所(suo)述升(sheng)降(jiang)裝置(zhi)上(shang)，所(suo)述壓(ya)板上(shang)固(gu)定安(an)裝(zhuang)有(you)若(ruo)幹(gan)與石墨舟上(shang)的(de)工藝(yi)孔(kong)相對應的壓(ya)桿(gan)，所(suo)述壓(ya)桿(gan)與(yu)所(suo)述導(dao)向(xiang)套筒(tong)同(tong)軸(zhou)心(xin)。

進壹步(bu)的(de)，為(wei)了(le)簡(jian)化(hua)本實(shi)用新型(xing)的整(zheng)體結構，所(suo)述移(yi)動(dong)裝(zhuang)置(zhi)為(wei)絲桿(gan)驅(qu)動(dong)裝(zhuang)置(zhi)，包括(kuo)絲桿(gan)，絲桿(gan)轉動(dong)裝(zhuang)置(zhi)、具(ju)有滑槽的(de)導(dao)軌和(he)滑塊所(suo)述絲桿(gan)驅(qu)動(dong)裝(zhuang)置(zhi)與(yu)所(suo)述絲桿(gan)固(gu)定連(lian)接，所(suo)述滑塊與(yu)所(suo)述絲桿(gan)傳(chuan)動(dong)連(lian)接，所(suo)述滑塊滑動(dong)安(an)裝(zhuang)在所(suo)述導(dao)軌內(nei)。

進壹步(bu)的(de)，為(wei)了(le)簡(jian)化(hua)本實(shi)用新型(xing)的整(zheng)體結構，所(suo)述升(sheng)降(jiang)裝置(zhi)為(wei)推(tui)動(dong)缸(gang)。

本實(shi)用新型(xing)的有(you)益效果(guo)是(shi):本實(shi)用新型(xing)包括(kuo)石墨舟固(gu)定夾具(ju)和驅(qu)動(dong)石墨舟固(gu)定夾具(ju)移動(dong)的(de)移(yi)動(dong)裝(zhuang)置(zhi)，在石墨舟固(gu)定夾具(ju)上(shang)安(an)裝(zhuang)固(gu)定好(hao)石墨舟後，使(shi)用移動(dong)裝(zhuang)置(zhi)將固(gu)定好(hao)的石墨舟移動(dong)到(dao)導(dao)向(xiang)板的正下方，導(dao)向(xiang)板通(tong)過(guo)升(sheng)降(jiang)裝置(zhi)下(xia)移到與(yu)石墨舟上(shang)表面(mian)接觸(chu)，在導(dao)向(xiang)板的導(dao)向(xiang)套筒(tong)內(nei)放(fang)置(zhi)工藝(yi)點，最(zui)後通(tong)過(guo)工藝(yi)點壓點裝置(zhi)將工藝(yi)點安(an)裝(zhuang)在石墨舟的工藝(yi)孔(kong)內，全部工序均通(tong)過(guo)機器(qi)自(zi)動(dong)完成(cheng)，節省了人(ren)力(li)，提(ti)高了(le)安(an)裝(zhuang)效(xiao)率(lv)，提(ti)高了(le)勞動(dong)生產(chan)率(lv)。

圖中：1.底(di)板(ban)，2.安(an)裝(zhuang)塊，3.直(zhi)角(jiao)開口(kou)，4.螺釘(ding)，5.工藝(yi)盲(mang)孔，6.導(dao)向(xiang)板，7.導(dao)向(xiang)孔，8.導(dao)向(xiang)套筒(tong)，9.壓(ya)板(ban)，10.壓(ya)桿(gan)，11.絲桿(gan)，12.導(dao)軌，13.電(dian)機，14.升(sheng)降(jiang)氣缸(gang)，15.底座(zuo)，16.支(zhi)架，17.橫梁，18.石墨舟。

具體實(shi)施方式(shi)

現在結合附圖對本實(shi)用新型(xing)做(zuo)進壹步(bu)詳(xiang)細的(de)說明。這些(xie)附圖均為(wei)簡(jian)化(hua)的(de)示意(yi)圖，僅以示意(yi)方式(shi)說明本實(shi)用新型(xing)的基(ji)本結構，因此其僅顯示(shi)與本實(shi)用新型(xing)有關(guan)的構成。

如(ru)圖1和圖2所(suo)示(shi)的(de)壹種(zhong)管(guan)式(shi)PECVD石墨舟工藝(yi)點安(an)裝(zhuang)裝(zhuang)置(zhi)，包括(kuo)底座15，底座15上(shang)設(she)有(you)兩(liang)條(tiao)平行(xing)導(dao)軌12，絲桿(gan)11轉動(dong)安(an)裝(zhuang)在底座(zuo)15上(shang)，絲桿(gan)11通(tong)過(guo)電(dian)機13驅動(dong)轉動(dong)，絲桿(gan)11上(shang)傳(chuan)動(dong)安(an)裝(zhuang)滑塊，滑塊上(shang)固(gu)定安(an)裝(zhuang)底(di)板(ban)1，如(ru)圖3所(suo)示(shi)。兩(liang)個底板1間(jian)隔(ge)安(an)裝(zhuang)，所(suo)述底(di)板1上(shang)固(gu)定安(an)裝(zhuang)有(you)安(an)裝(zhuang)塊2，所(suo)述安(an)裝(zhuang)塊2上(shang)開(kai)有(you)直(zhi)角(jiao)開口(kou)3，兩(liang)個所(suo)述安(an)裝(zhuang)塊2對(dui)稱(cheng)設(she)置(zhi)，所(suo)述底(di)板1上(shang)開(kai)有(you)螺(luo)紋孔，所(suo)述螺(luo)紋孔內(nei)螺(luo)紋安(an)裝(zhuang)有(you)螺(luo)釘(ding)4，所(suo)述底(di)板1上(shang)開(kai)有(you)若(ruo)幹(gan)與石墨舟18上(shang)的(de)工藝(yi)孔(kong)相對應的工藝(yi)盲(mang)孔5，如(ru)圖5所(suo)示(shi)，工藝(yi)盲(mang)孔5的深(shen)度(du)與工藝(yi)點中卡塊的(de)高(gao)度(du)相等，便(bian)於在工藝(yi)點的安(an)裝(zhuang)過(guo)程(cheng)中(zhong)，限制工藝(yi)點在該工藝(yi)孔(kong)中的位置(zhi)。

底(di)座15上(shang)底(di)板(ban)1所(suo)在導(dao)軌12的(de)兩(liang)側(ce)均固(gu)定安(an)裝(zhuang)支(zhi)架16，支(zhi)架16上(shang)固(gu)定安(an)裝(zhuang)升(sheng)降(jiang)氣缸(gang)14，升(sheng)降(jiang)氣缸(gang)14的伸出端(duan)固(gu)定安(an)裝(zhuang)導(dao)向(xiang)板6，所(suo)述導(dao)向(xiang)板6上(shang)開(kai)有(you)若(ruo)幹(gan)導(dao)向(xiang)孔7，如(ru)圖6所(suo)示(shi)，若(ruo)幹(gan)所(suo)述導(dao)向(xiang)孔7與石墨舟18上(shang)的(de)工藝(yi)孔(kong)相對應，所(suo)述導(dao)向(xiang)板6上(shang)表面(mian)導(dao)向(xiang)孔7所(suo)在位置(zhi)處固(gu)定安(an)裝(zhuang)有(you)導(dao)向(xiang)套筒(tong)8，所(suo)述導(dao)向(xiang)孔7與所(suo)述導(dao)向(xiang)套筒(tong)8同(tong)軸(zhou)心(xin)。

所(suo)述底(di)座15上(shang)通(tong)過(guo)支(zhi)架16固(gu)定安(an)裝(zhuang)壹條(tiao)橫梁17，橫梁17上(shang)固(gu)定安(an)裝(zhuang)升(sheng)降(jiang)氣缸(gang)14，升(sheng)降(jiang)氣缸(gang)14的伸出端(duan)與(yu)如(ru)圖7所(suo)示(shi)的(de)壓(ya)板(ban)9固(gu)定連(lian)接，壓板(ban)9位於導(dao)向(xiang)板6的正上(shang)方，所(suo)述壓(ya)板9上(shang)固(gu)定安(an)裝(zhuang)有(you)若(ruo)幹(gan)與石墨舟18上(shang)的(de)工藝(yi)孔(kong)相對應的壓(ya)桿(gan)10，所(suo)述壓(ya)桿(gan)10與(yu)所(suo)述導(dao)向(xiang)套筒(tong)8同(tong)軸(zhou)心(xin)。

工作過程(cheng)：

1、在石墨舟安(an)裝(zhuang)固(gu)定夾具(ju)的底(di)板(ban)1上(shang)固(gu)定安(an)裝(zhuang)石墨舟18，如(ru)圖4所(suo)示(shi)，安(an)裝(zhuang)好(hao)的石墨舟18上(shang)的(de)工藝(yi)孔(kong)與底板1上(shang)的(de)工藝(yi)盲(mang)孔5壹壹對應(ying)。

2、啟(qi)動(dong)石墨舟輸送裝置(zhi)中(zhong)的電(dian)機13，電(dian)機13轉動(dong)，帶動(dong)絲桿(gan)11轉動(dong)，絲桿(gan)11轉動(dong)，帶動(dong)滑塊移(yi)動(dong)，滑塊帶動(dong)底(di)板(ban)1向(xiang)導(dao)向(xiang)板6移動(dong)，待(dai)底(di)板(ban)1移(yi)動(dong)到(dao)導(dao)向(xiang)板6的正下方，石墨舟18上(shang)的(de)工藝(yi)孔(kong)與導(dao)向(xiang)板6中的導(dao)向(xiang)孔7壹壹對應(ying)時(shi)，關閉電(dian)機13，由(you)於壹根(gen)絲桿(gan)11上(shang)安(an)裝(zhuang)有(you)兩(liang)個底板1，兩(liang)個底板1間(jian)隔(ge)設置(zhi)，在壹個底板1位於導(dao)向(xiang)板6正下方時(shi)，另壹個底板1遠離(li)導(dao)向(xiang)板6，方便(bian)在底板(ban)1上(shang)安(an)裝(zhuang)石墨舟18。

3、啟動(dong)驅(qu)動(dong)導(dao)向(xiang)板6升(sheng)降(jiang)的升(sheng)降(jiang)氣缸(gang)14，升(sheng)降(jiang)氣缸(gang)14伸出端(duan)伸出，帶動(dong)導(dao)向(xiang)板6向導(dao)向(xiang)板6正下方的(de)底板1移(yi)動(dong)，待(dai)導(dao)向(xiang)板6的下表面(mian)與石墨舟18的上(shang)表面(mian)接觸(chu)時，關(guan)閉(bi)升(sheng)降(jiang)氣缸(gang)14。

4、將工藝(yi)點放入(ru)導(dao)向(xiang)板6上(shang)的(de)導(dao)向(xiang)套筒(tong)8內(nei)，由(you)於導(dao)向(xiang)套筒(tong)8的(de)內(nei)半(ban)徑與工藝(yi)點的半(ban)徑相等，工藝(yi)點上(shang)的(de)卡塊上(shang)下(xia)設(she)置(zhi)，進入導(dao)向(xiang)套筒(tong)8內(nei)。

5、啟(qi)動(dong)驅(qu)動(dong)壓(ya)板(ban)9升(sheng)降(jiang)的升(sheng)降(jiang)氣缸(gang)14，升(sheng)降(jiang)氣缸(gang)14伸出端(duan)伸出，帶動(dong)壓(ya)板(ban)9向(xiang)導(dao)向(xiang)板6靠近，壓(ya)桿(gan)10伸入導(dao)向(xiang)套筒(tong)8內(nei)，推(tui)動(dong)導(dao)向(xiang)套筒(tong)8內(nei)的(de)工藝(yi)點向下(xia)運動(dong)，待(dai)工藝(yi)點下方的(de)卡塊與(yu)底(di)板1上(shang)工藝(yi)盲(mang)孔5的底部接(jie)觸(chu)時，升(sheng)降(jiang)氣缸(gang)14收縮(suo)，帶動(dong)壓(ya)板(ban)9遠(yuan)離(li)導(dao)向(xiang)板6，升(sheng)降(jiang)氣缸(gang)14復(fu)位後(hou)，關閉(bi)升(sheng)降(jiang)氣缸(gang)14。

以上(shang)述依據(ju)本實(shi)用新型(xing)的理想實(shi)施例(li)為(wei)啟(qi)示(shi)，通(tong)過(guo)上(shang)述的(de)說明內容(rong)，相(xiang)關工作人(ren)員(yuan)完全可以在不(bu)偏離(li)本項實(shi)用新型(xing)技(ji)術(shu)思想的(de)範(fan)圍(wei)內，進行(xing)多樣(yang)的(de)變更以及修(xiu)改。本項實(shi)用新型(xing)的技(ji)術(shu)性範(fan)圍(wei)並(bing)不(bu)局限於說(shuo)明書(shu)上(shang)的(de)內(nei)容(rong)，必須(xu)要(yao)根(gen)據(ju)權利要求範(fan)圍(wei)來確(que)定其技(ji)術(shu)性範(fan)圍(wei)。