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          pecvd石(shi)墨舟固(gu)定(ding)矽片(pian)用(yong)銷(xiao)釘的詳(xiang)細方(fang)法(fa)
          jcadmin   |   2020-08-18 10:16:44

          石(shi)墨舟是(shi)給(gei)太(tai)陽能電(dian)池(chi)片(pian)中的(de)矽片(pian)鍍(du)膜(mo)的(de)載體,在進(jin)行(xing)鍍(du)膜(mo)時(shi),將插(cha)有(you)未鍍(du)膜(mo)的(de)矽片(pian)的石(shi)墨舟送入(ru)PECVD真(zhen)空鍍(du)膜(mo)設(she)備腔(qiang)體(ti)內(nei)且利用(yong)PECVD工(gong)藝進(jin)行(xing)放(fang)電(dian)鍍(du)膜(mo)。鍍(du)膜(mo)結束後(hou),取(qu)出(chu)石(shi)墨舟,將矽片(pian)從(cong)石(shi)墨舟上卸取(qu)下來。而(er)在(zai)矽片(pian)鍍(du)膜(mo)生(sheng)產(chan)中,需(xu)要(yao)使(shi)用(yong)穿(chuan)過(guo)石(shi)墨舟的(de)銷(xiao)釘將矽片(pian)固定在石(shi)墨舟中,由(you)於(yu)銷(xiao)釘經常(chang)與(yu)矽片(pian)接(jie)觸,其(qi)是(shi)易(yi)損(sun)部(bu)件,對於半導(dao)體和太(tai)陽能石(shi)墨舟來說(shuo),使(shi)用(yong)磨(mo)損(sun)後(hou)需(xu)要(yao)更換銷(xiao)釘是比(bi)較困難的,並且(qie)容易(yi)損(sun)害(hai)石(shi)墨舟舟(zhou)體(ti)。

          本實用(yong)新(xin)型涉及石(shi)墨舟配(pei)件(jian)領(ling)域,特(te)別(bie)涉及壹種石(shi)墨舟固(gu)定(ding)矽片(pian)用(yong)銷(xiao)釘。

          石(shi)墨舟是(shi)給(gei)太(tai)陽能電(dian)池(chi)片(pian)中的(de)矽片(pian)鍍(du)膜(mo)的(de)載體,在進(jin)行(xing)鍍(du)膜(mo)時(shi),將插(cha)有(you)未鍍(du)膜(mo)的(de)矽片(pian)的石(shi)墨舟送入(ru)PECVD真(zhen)空鍍(du)膜(mo)設(she)備腔(qiang)體(ti)內(nei)且利用(yong)PECVD工(gong)藝進(jin)行(xing)放(fang)電(dian)鍍(du)膜(mo)。鍍(du)膜(mo)結束後(hou),取(qu)出(chu)石(shi)墨舟,將矽片(pian)從(cong)石(shi)墨舟上卸取(qu)下來。

          而(er)在(zai)矽片(pian)鍍(du)膜(mo)生(sheng)產(chan)中,需(xu)要(yao)使(shi)用(yong)穿(chuan)過(guo)石(shi)墨舟的(de)銷(xiao)釘將矽片(pian)固定在石(shi)墨舟中,由(you)於(yu)銷(xiao)釘經常(chang)與(yu)矽片(pian)接(jie)觸,其(qi)是(shi)易(yi)損(sun)部(bu)件,對於半導(dao)體和太(tai)陽能石(shi)墨舟來說(shuo),使(shi)用(yong)磨(mo)損(sun)後(hou)需(xu)要(yao)更換銷(xiao)釘是比(bi)較困難的,並且(qie)容易(yi)損(sun)害(hai)石(shi)墨舟舟(zhou)體(ti)。目(mu)前(qian)有(you)中國(guo)專(zhuan)利授權公(gong)告(gao)號(hao)〇附010080818(授權公(gong)告(gao)日(ri)2010.5.19)公(gong)開(kai)的(de)壹種矽片(pian)生(sheng)產(chan)中使(shi)用(yong)的(de)石(shi)墨舟,該(gai)專(zhuan)利附圖4中的(de)固(gu)定件(jian)即(ji)為(wei)現(xian)有(you)常(chang)用(yong)的(de)固定矽片(pian)用(yong)的(de)銷(xiao)釘,這種銷(xiao)釘雖(sui)然在更換上相對傳(chuan)統的銷(xiao)釘更簡(jian)便(bian),但是還是需要(yao)更換,增加勞(lao)動(dong)強(qiang)度(du),降(jiang)低工(gong)作效率(lv)。

          本實用(yong)新(xin)型的目的(de)在(zai)於(yu)針對現有技術(shu)的上述不(bu)足和缺(que)陷,提供(gong)壹種無需更換且(qie)提(ti)高(gao)使(shi)用(yong)壽(shou)命的(de)石(shi)墨舟固(gu)定(ding)矽片(pian)用(yong)銷(xiao)釘,以解(jie)決(jue)上述問題(ti)。

          本實用(yong)新(xin)型所解(jie)決(jue)的技(ji)術(shu)問題(ti)可(ke)以采(cai)用(yong)以下技術(shu)方案(an)來實現:

          石(shi)墨舟固(gu)定(ding)矽片(pian)用(yong)銷(xiao)釘,包(bao)括(kuo)與(yu)石(shi)墨舟的(de)銷(xiao)釘孔過(guo)盈配合(he)的(de)中部(bu)圓柱段,所述中部(bu)圓柱段的(de)兩(liang)端(duan)分(fen)別(bie)設(she)置有用(yong)於(yu)承托矽片(pian)的承托段(duan),其(qi)特(te)征在於(yu),所述承托段(duan)的(de)外(wai)端面(mian)設(she)置有調節槽(cao)。

          在(zai)本實用(yong)新(xin)型的壹個優(you)選實施例中,所述承托段(duan)為(wei)與(yu)所述中部(bu)圓柱段同(tong)軸(zhou)設置且外(wai)徑(jing)小於(yu)所述中部(bu)圓柱段外(wai)徑(jing)的小(xiao)圓柱段,所述小(xiao)

          圓柱段的(de)內(nei)側外周面(mian)設置有用(yong)以供矽片(pian)插(cha)入(ru)固(gu)定的楔(xie)形槽(cao)。

          在(zai)本實用(yong)新(xin)型的壹個優(you)選實施例中,所述小(xiao)圓柱段的(de)外(wai)端面外(wai)周處(chu)理(li)為(wei)圓(yuan)角(jiao)結構。

          在(zai)本實用(yong)新(xin)型的壹個優(you)選實施例中,所述承托段(duan)為(wei)與(yu)所述中部(bu)圓柱段同(tong)軸(zhou)設置且外(wai)徑(jing)小於(yu)所述中部(bu)圓柱段外(wai)徑(jing)的小(xiao)棱柱段。

          在(zai)本實用(yong)新(xin)型的壹個優(you)選實施例中,所述小(xiao)棱柱段的(de)外(wai)端面外(wai)周處(chu)理(li)為(wei)圓(yuan)角(jiao)結構。

          在(zai)本實用(yong)新(xin)型的壹個優(you)選實施例中,所述調節槽(cao)為(wei)腰(yao)形槽(cao)。

          在(zai)本實用(yong)新(xin)型的壹個優(you)選實施例中,所述調節槽(cao)貫穿所述中部(bu)圓柱段和承托段(duan)。

          在(zai)本實用(yong)新(xin)型的壹個優(you)選實施例中,所述中部(bu)圓柱段的(de)兩(liang)端(duan)面(mian)外(wai)周處(chu)理(li)為(wei)45°倒角(jiao)結構。

          由(you)采(cai)用(yong)了(le)如(ru)上的技(ji)術(shu)方案(an),當承托段(duan)與(yu)矽片(pian)的接(jie)觸部(bu)位(wei)出(chu)現較大的磨(mo)損(sun)且(qie)影(ying)響正常工(gong)作時(shi),利用(yong)壹調節件插(cha)入(ru)調節槽(cao),旋(xuan)轉調節件,使(shi)得中部(bu)圓柱段和承托段(duan)轉過(guo)壹定的(de)角(jiao)度(du),此(ci)時(shi)承托段(duan)與(yu)矽片(pian)的接(jie)觸部(bu)位(wei)為(wei)無損(sun)部(bu)位(wei),可(ke)以正常工(gong)作。當使(shi)用(yong)時(shi)間(jian)久了,承托段(duan)與(yu)矽片(pian)的接(jie)觸部(bu)位(wei)再(zai)次(ci)出(chu)現較大的磨(mo)損(sun)且(qie)影(ying)響正常工(gong)作時(shi),重(zhong)復(fu)上述調節步驟即(ji)可,短(duan)期(qi)內(nei)無需更換銷(xiao)釘,直到承托段(duan)的(de)外(wai)周面(mian)均(jun)無法(fa)正常使(shi)用(yong)時(shi)才(cai)需(xu)更換銷(xiao)釘,簡(jian)化(hua)了(le)銷(xiao)釘的更換工(gong)作,且提(ti)高(gao)了銷(xiao)釘的使(shi)用(yong)壽(shou)命。

          為(wei)了(le)更清(qing)楚地(di)說(shuo)明(ming)本實用(yong)新(xin)型實施例或(huo)現有(you)技術(shu)中的(de)技(ji)術(shu)方案(an),下面將對實施例或(huo)現有(you)技術(shu)描(miao)述中所需(xu)要使(shi)用(yong)的(de)附圖作簡(jian)單地(di)介紹,顯而(er)易(yi)見(jian)地(di),下面描(miao)述中的(de)附(fu)圖僅(jin)僅(jin)是(shi)本實用(yong)新(xin)型的壹些實施例,對於本領(ling)域普通(tong)技(ji)術(shu)人員來講(jiang),在不(bu)付(fu)出(chu)創(chuang)造(zao)性勞動(dong)的前(qian)提(ti)下,還可以根據這些(xie)附(fu)圖(tu)獲得其(qi)他(ta)的(de)附圖。

          為(wei)了(le)使(shi)本實用(yong)新(xin)型實現的(de)技術(shu)手(shou)段、創(chuang)作特(te)征、達成目(mu)的(de)與(yu)功效(xiao)易(yi)於明(ming)白了解(jie),下面進壹步闡(chan)述本實用(yong)新(xin)型。

          實施例1

          參見(jian)圖(tu)1和圖2所示(shi)的石(shi)墨舟固(gu)定(ding)矽片(pian)用(yong)銷(xiao)釘,包(bao)括(kuo)與(yu)石(shi)墨舟的(de)銷(xiao)釘孔過(guo)盈配合(he)的(de)中部(bu)圓柱段100,為(wei)了(le)方(fang)便(bian)中部(bu)圓柱段100插(cha)入(ru)石(shi)墨舟的(de)銷(xiao)釘孔,中部(bu)圓柱段100的(de)兩(liang)端(duan)面(mian)110外(wai)周處(chu)理(li)為(wei)45°倒角(jiao)結構111。中部(bu)圓柱段100的(de)兩(liang)端(duan)分(fen)別(bie)壹體成型(xing)有(you)用(yong)於(yu)承托矽片(pian)的承托段(duan)200,承托段(duan)200的(de)外(wai)端面(mian)設(she)置有調節槽(cao)300,調節槽(cao)300為(wei)腰(yao)形孔,調節槽(cao)300也可(ke)貫穿中部(bu)圓柱段100和承托段(duan)200。

          本實施例中的(de)承托段(duan)200為(wei)與(yu)中部(bu)圓柱段100同(tong)軸(zhou)設置且外(wai)徑(jing)小於(yu)中部(bu)圓柱段外(wai)徑(jing)的小(xiao)圓柱段210,小(xiao)圓(yuan)柱段210的(de)內(nei)側外周面(mian)設置有

          用(yong)以供矽片(pian)插(cha)入(ru)固(gu)定的楔(xie)形槽(cao)211。小(xiao)圓柱段210的(de)外(wai)端面212外(wai)周處(chu)理(li)為(wei)圓(yuan)角(jiao)結構213。

          實施例2<br>[0025]參見(jian)圖(tu)3和圖4所示(shi)的石(shi)墨舟固(gu)定(ding)矽片(pian)用(yong)銷(xiao)釘,本實施例的石(shi)墨舟固(gu)定(ding)矽片(pian)用(yong)銷(xiao)釘與(yu)實施例1的石(shi)墨舟固(gu)定(ding)矽片(pian)用(yong)銷(xiao)釘結構大致相似,其(qi)區(qu)別(bie)在(zai)於,承托段(duan)200為(wei)與(yu)中部(bu)圓柱段100同(tong)軸(zhou)設置且外(wai)徑(jing)小於(yu)中部(bu)圓柱段外(wai)徑(jing)的小(xiao)棱柱段210a。小(xiao)棱(leng)柱段210a為(wei)六(liu)棱(leng)柱段,當然也可(ke)以為(wei)八(ba)棱柱段。小(xiao)棱(leng)柱段210a的(de)外(wai)端面212a外(wai)周處(chu)理(li)為(wei)圓(yuan)角(jiao)結構213a。

          上述兩(liang)個實施例的工(gong)作原(yuan)理(li)壹樣:

          當承托段(duan)200與(yu)矽片(pian)的接(jie)觸部(bu)位(wei)出(chu)現較大的磨(mo)損(sun)且(qie)影(ying)響正常工(gong)作時(shi),利用(yong)壹調節件插(cha)入(ru)調節槽(cao)300,旋(xuan)轉調節件,使(shi)得中部(bu)圓柱段100和承托段(duan)200轉過(guo)壹定的(de)角(jiao)度(du),此(ci)時(shi)承托段(duan)200與(yu)矽片(pian)的接(jie)觸部(bu)位(wei)為(wei)無損(sun)部(bu)位(wei),可(ke)以正常工(gong)作。當使(shi)用(yong)時(shi)間(jian)久了,承托段(duan)200與(yu)矽片(pian)的接(jie)觸部(bu)位(wei)再(zai)次(ci)出(chu)現較大的磨(mo)損(sun)且(qie)影(ying)響正常工(gong)作時(shi),重(zhong)復(fu)上述調節步驟即(ji)可,短(duan)期(qi)內(nei)無需更換銷(xiao)釘,直到承托段(duan)200的(de)外(wai)周面(mian)均(jun)無法(fa)正常使(shi)用(yong)時(shi)才(cai)需(xu)更換銷(xiao)釘,簡(jian)化(hua)了(le)銷(xiao)釘的更換工(gong)作,且提(ti)高(gao)了銷(xiao)釘的使(shi)用(yong)壽(shou)命。

          以上顯示(shi)和描(miao)述了(le)本實用(yong)新(xin)型的基(ji)本原(yuan)理(li)和主要特(te)征和本實用(yong)新(xin)型的優(you)點(dian)。本行(xing)業(ye)的(de)技(ji)術(shu)人員應該了解(jie),本實用(yong)新(xin)型不(bu)受(shou)上述實施例的限制,上述實施例和說(shuo)明(ming)書(shu)中描(miao)述的(de)只是說(shuo)明(ming)本實用(yong)新(xin)型的原(yuan)理(li),在(zai)不(bu)脫(tuo)離本實用(yong)新(xin)型精(jing)神和範圍(wei)的前(qian)提(ti)下,本實用(yong)新(xin)型還會有各(ge)種變(bian)化(hua)和改進,這些(xie)變(bian)化(hua)和改進都(dou)落(luo)入(ru)要(yao)求(qiu)保(bao)護(hu)的(de)本實用(yong)新(xin)型範圍(wei)內。本實用(yong)新(xin)型要求(qiu)保(bao)護(hu)範(fan)圍(wei)由所附(fu)的權利要求(qiu)書(shu)及(ji)其(qi)等(deng)效物(wu)界(jie)定。

          1.石(shi)墨舟固(gu)定(ding)矽片(pian)用(yong)銷(xiao)釘,包(bao)括(kuo)與(yu)石(shi)墨舟的(de)銷(xiao)釘孔過(guo)盈配合(he)的(de)中部(bu)圓柱段,所述中部(bu)圓柱段的(de)兩(liang)端(duan)分(fen)別(bie)設(she)置有用(yong)於(yu)承托矽片(pian)的承托段(duan),其(qi)特(te)征在於(yu),所述承托段(duan)的(de)外(wai)端面(mian)設(she)置有調節槽(cao)。

          2.如(ru)權利要求(qiu)1所述的(de)石(shi)墨舟固(gu)定(ding)矽片(pian)用(yong)銷(xiao)釘,其(qi)特(te)征在於(yu),所述承托段(duan)為(wei)與(yu)所述中部(bu)圓柱段同(tong)軸(zhou)設置且外(wai)徑(jing)小於(yu)所述中部(bu)圓柱段外(wai)徑(jing)的小(xiao)圓柱段,所述小(xiao)圓柱段的(de)內(nei)側外周面(mian)設置有用(yong)以供矽片(pian)插(cha)入(ru)固(gu)定的楔(xie)形槽(cao)。

          3.如(ru)權利要求(qiu)2所述的(de)石(shi)墨舟固(gu)定(ding)矽片(pian)用(yong)銷(xiao)釘,其(qi)特(te)征在於(yu),所述小(xiao)圓柱段的(de)外(wai)端面外(wai)周處(chu)理(li)為(wei)圓(yuan)角(jiao)結構。

          4.如(ru)權利要求(qiu)1所述的(de)石(shi)墨舟固(gu)定(ding)矽片(pian)用(yong)銷(xiao)釘,其(qi)特(te)征在於(yu),所述承托段(duan)為(wei)與(yu)所述中部(bu)圓柱段同(tong)軸(zhou)設置且外(wai)徑(jing)小於(yu)所述中部(bu)圓柱段外(wai)徑(jing)的小(xiao)棱柱段。

          5.如(ru)權利要求(qiu)4所述的(de)石(shi)墨舟固(gu)定(ding)矽片(pian)用(yong)銷(xiao)釘,其(qi)特(te)征在於(yu),所述小(xiao)棱柱段的(de)外(wai)端面外(wai)周處(chu)理(li)為(wei)圓(yuan)角(jiao)結構。

          6.如(ru)權利要求(qiu)1所述的(de)石(shi)墨舟固(gu)定(ding)矽片(pian)用(yong)銷(xiao)釘,其(qi)特(te)征在於(yu),所述調節槽(cao)為(wei)腰(yao)形槽(cao)。

          7.如(ru)權利要求(qiu)1所述的(de)石(shi)墨舟固(gu)定(ding)矽片(pian)用(yong)銷(xiao)釘,其(qi)特(te)征在於(yu),所述調節槽(cao)貫穿所述中部(bu)圓柱段和承托段(duan)。

          8.如(ru)權利要求(qiu)1所述的(de)石(shi)墨舟固(gu)定(ding)矽片(pian)用(yong)銷(xiao)釘,其(qi)特(te)征在於(yu),所述中部(bu)圓柱段的(de)兩(liang)端(duan)面(mian)外(wai)周處(chu)理(li)為(wei)45°倒角(jiao)結構。

          本實用(yong)新(xin)型公(gong)開(kai)了(le)壹種石(shi)墨舟固(gu)定(ding)矽片(pian)用(yong)銷(xiao)釘,包(bao)括(kuo)與(yu)石(shi)墨舟的(de)銷(xiao)釘孔過(guo)盈配合(he)的(de)中部(bu)圓柱段,所述中部(bu)圓柱段的(de)兩(liang)端(duan)分(fen)別(bie)設(she)置有用(yong)於(yu)承托矽片(pian)的承托段(duan),所述承托段(duan)的(de)外(wai)端面(mian)設(she)置有調節槽(cao)。當承托段(duan)與(yu)矽片(pian)的接(jie)觸部(bu)位(wei)出(chu)現較大的磨(mo)損(sun)且(qie)影(ying)響正常工(gong)作時(shi),利用(yong)壹調節件插(cha)入(ru)調節槽(cao),旋(xuan)轉調節件,使(shi)得中部(bu)圓柱段和承托段(duan)轉過(guo)壹定的(de)角(jiao)度(du),此(ci)時(shi)承托段(duan)與(yu)矽片(pian)的接(jie)觸部(bu)位(wei)為(wei)無損(sun)部(bu)位(wei),可(ke)以正常工(gong)作。當使(shi)用(yong)時(shi)間(jian)久了,承托段(duan)與(yu)矽片(pian)的接(jie)觸部(bu)位(wei)再(zai)次(ci)出(chu)現較大的磨(mo)損(sun)且(qie)影(ying)響正常工(gong)作時(shi),重(zhong)復(fu)上述調節步驟即(ji)可,短(duan)期(qi)內(nei)無需更換銷(xiao)釘,直到承托段(duan)的(de)外(wai)周面(mian)均(jun)無法(fa)正常使(shi)用(yong)時(shi)才(cai)需(xu)更換銷(xiao)釘,簡(jian)化(hua)了(le)銷(xiao)釘的更換工(gong)作,且提(ti)高(gao)了銷(xiao)釘的使(shi)用(yong)壽(shou)命。

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