石墨舟的(de)使用(yong)和(he)制造(zao)情(qing)況介(jie)紹(shao)

石墨舟推(tui)舟系統采用軟(ruan)著(zhe)陸(lu)的(de)方(fang)式，即(ji)將石墨舟放(fang)到(dao)反應管(guan)內(nei)部後，石墨舟推(tui)舟機(ji)構將退出，自(zi)動門關(guan)上。載(zai)片舟是(shi)經(jing)特殊設(she)計(ji)，在X軸(zhou)、Y軸(zhou)、Z軸三個(ge)方向可(ke)微調，再經精加(jia)工而(er)成。它直(zhi)接(jie)影(ying)響(xiang)到(dao)電(dian)場的(de)分布(bu)、等(deng)離(li)子的(de)產(chan)生(sheng)、氣(qi)流的(de)走(zou)向、膜的(de)品(pin)質。成(cheng)膜壓力甚(shen)至(zhi)氣(qi)體的(de)流(liu)量都(dou)與(yu)此(ci)結構有關(guan)，所以推(tui)舟系統是(shi)本設(she)備(bei)的(de)核(he)心部(bu)件。

　　使用(yong)像擴(kuo)散(san)爐(lu)管壹(yi)樣(yang)的(de)石英管作(zuo)為沈(chen)積腔(qiang)室，使用(yong)電(dian)阻爐作(zuo)為加(jia)熱(re)體，將壹(yi)個(ge)可(ke)以(yi)放(fang)置多片矽(gui)片(pian)的(de)石墨舟插進石英管中(zhong)進行(xing)沈(chen)積。

石墨舟及(ji)制造(zao)方(fang)法，在石墨舟毛坯料中浸(jin)漬(zi)有樹脂(zhi)，石墨舟毛坯經(jing)過固(gu)化(hua)處(chu)理(li)、加工、高溫處(chu)理(li)使樹(shu)脂(zhi)充(chong)分炭化(hua)，在石墨舟表(biao)面(mian)形成(cheng)壹(yi)層(ceng)薄(bo)膜，包括(kuo)以下(xia)步驟(zhou)：先(xian)把石墨原(yuan)材料放置(zhi)在真(zhen)空(kong)爐(lu)內(nei)高溫純化(hua)、形成(cheng)石墨舟毛坯料；石墨舟毛坯料放入調配(pei)的(de)樹(shu)脂中浸(jin)漬(zi)；石墨舟毛坯料固化(hua)處(chu)理(li)形成(cheng)坯(pi)體；固化(hua)後的(de)坯(pi)體加工成成(cheng)品(pin)；加(jia)工完的(de)成(cheng)品(pin)高溫處(chu)理(li)，樹脂炭化(hua)，在成(cheng)品(pin)表(biao)面(mian)形成(cheng)薄(bo)膜；能夠在石墨舟片(pian)表(biao)面(mian)形成(cheng)壹(yi)層(ceng)均勻(yun)的(de)抗(kang)氧(yang)化(hua)薄膜使用(yong)壽(shou)命(ming)長(chang)，降低(di)了(le)使用(yong)和(he)維(wei)護成(cheng)本(ben)，具(ju)有良好的(de)經(jing)濟效益和(he)社(she)會效益。