關於(yu)PECVD石(shi)墨舟工(gong)序標(biao)準物質的使用?
關於(yu)標(biao)準(zhun)物(wu)質(zhi),大家(jia)都知(zhi)道(dao)在計量(liang)時(shi)是做(zuo)標準(zhun)件使用的,石墨舟本(ben)文中講到(dao)的標準物(wu)質將(jiang)這(zhe)壹(yi)標準物質(zhi)進(jin)行了詳(xiang)細化(hua)。
例如在PECVD工(gong)序主(zhu)要操作(zuo)是使用機器手(shou)進(jin)行工(gong)作(zuo),因(yin)此(ci)所提(ti)及的標準物(wu)質為標(biao)準機械(xie)手、標(biao)準(zhun)石(shi)墨舟及(ji)標(biao)準(zhun)上料小(xiao)車三(san)部分(fen)。
眾(zhong)所周知(zhi),機械(xie)手會(hui)有相(xiang)應(ying)的準確(que)度,在(zai)使用壹段(duan)時(shi)間(jian)後,會由(you)於(yu)使用的原(yuan)因(yin)會(hui)造成壹(yi)定的偏差,因(yin)此(ci)會造成在(zai)上料過(guo)程(cheng)中夾石(shi)墨舟會(hui)傾(qing)斜(xie),造成摔片(pian)現(xian)象(xiang)。因(yin)此(ci)需要對(dui)機械(xie)手進(jin)行定(ding)期(qi)的校(xiao)正(zheng),但是(shi)由於(yu)技(ji)術(shu)方面(mian)的問(wen)題(ti),我們不(bu)能總(zong)是去調整機械(xie)手,所以(yi)我們將(jiang)問(wen)題(ti)轉向(xiang)方便調整(zheng)的石墨舟及(ji)上(shang)料(liao)小(xiao)車上(shang)。
石(shi)墨舟在(zai)使用的過程(cheng)中,不(bu)會(hui)造(zao)成什(shen)麽大的問(wen)題(ti),主要是(shi)其載(zai)體的問(wen)題(ti),那(na)就是上料(liao)小(xiao)車。
上(shang)料(liao)小(xiao)車在(zai)使用壹段(duan)時(shi)間(jian)後會與機械(xie)手形(xing)成匹(pi)配(pei)不(bu)良,導(dao)致在上(shang)料(liao)的過程(cheng)中出(chu)現(xian)各種問(wen)題(ti),導(dao)致整體的上料質(zhi)量(liang)指(zhi)標(biao)波動。
首先,上(shang)料(liao)小(xiao)車在(zai)使用時(shi)會由(you)於(yu)使用的原(yuan)因(yin)會(hui)造成小(xiao)車的不(bu)平(ping)穩(wen),導(dao)致小(xiao)車上(shang)石(shi)墨舟的位置(zhi)偏移(yi);再次,由(you)於(yu)操作(zuo)小(xiao)車的人(ren)員(yuan)不(bu)同(tong),因(yin)此(ci)也(ye)會對(dui)機械(xie)手有不(bu)同(tong)的影響(xiang)。
由於(yu)是(shi)壹(yi)臺機械(xie)手對(dui)應多(duo)臺上料小(xiao)車,因(yin)此(ci)我們采(cai)取對(dui)小(xiao)車進(jin)行規(gui)範(fan)的方法(fa)。
壹、我們制定(ding)標準(zhun)小(xiao)車(註(zhu):此(ci)小(xiao)車並(bing)不(bu)是(shi)理(li)想(xiang)狀態下(xia)各方面(mian)參數(shu)均為最規(gui)範(fan)的小(xiao)車,而(er)是任(ren)壹(yi)小(xiao)車,主(zhu)要是(shi)調(tiao)整機械(xie)手與其對(dui)應關系(xi))。並將(jiang)石磨(mo)舟放(fang)置(zhi)在(zai)小(xiao)車上(shang)的位置(zhi)及(ji)方向進(jin)行定(ding)位,我們將(jiang)其定(ding)義為標(biao)準,並(bing)以(yi)此來(lai)調整(zheng)機械(xie)手,保(bao)證機械(xie)手在(zai)此(ci)小(xiao)車和石墨舟的位置(zhi)為最佳(jia)上(shang)料(liao)位置(zhi)。
二(er)、將(jiang)小(xiao)車的高度(du)及(ji)地面(mian)的存放位置(zhi)進(jin)行規(gui)定(ding),采(cai)用(yong)8S標準定(ding)位方法(fa),避(bi)免由(you)於(yu)小(xiao)車的高度(du)位置(zhi)等(deng)低級問(wen)題(ti)導(dao)致的上料時(shi)的摔片(pian)現(xian)象(xiang)。
三、以(yi)此小(xiao)車為標(biao)準,調(tiao)整其他(ta)對(dui)應該機械(xie)手的小(xiao)車,保(bao)證其標(biao)準(zhun)小(xiao)車的標準作(zuo)用的發(fa)揮(hui)。
四(si)、對(dui)機械(xie)手進(jin)行定(ding)期(qi)調(tiao)試,保證機械(xie)手與小(xiao)車的匹配(pei)性(xing)。
五、對(dui)所有小(xiao)車進(jin)行定(ding)期(qi)保(bao)養維(wei)護,保(bao)證小(xiao)車的標準壹(yi)致性(xing)。
通(tong)過(guo)上(shang)述我們措施(shi)的實施,有效(xiao)的減少了上料(liao)過(guo)程(cheng)中的摔片(pian)現(xian)象(xiang)及對(dui)石磨(mo)舟的影響(xiang)。
通(tong)過(guo)此(ci)案例(li),我們還(hai)在(zai)其他(ta)工(gong)序對(dui)標準(zhun)物質(zhi)進(jin)行了制定(ding),如在(zai)PE工(gong)序對(dui)不(bu)同(tong)顏(yan)色(se)的片(pian)子(zi)進(jin)行分(fen)類(lei),在印(yin)刷(shua)前就對(dui)問(wen)題(ti)片(pian)進(jin)行分(fen)類(lei),可(ke)以(yi)降低生(sheng)產成本(ben),及在印(yin)刷(shua)過(guo)程(cheng)中造成的資料浪(lang)費(fei)。並(bing)在印刷(shua)工(gong)序增(zeng)加標準色(se)板(ban)的電池片(pian),保(bao)證分(fen)色(se)時(shi)能實現目(mu)視化(hua),減(jian)少了色(se)差問(wen)題(ti)出(chu)現(xian)在概率。
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