了(le)解壹(yi)下單晶爐(lu)熱場結(jie)構

在(zai)太(tai)陽能光伏行業，的好(hao)壞直接(jie)關(guan)系(xi)到(dao)單晶矽的(de)質量(liang)，合格的熱場能夠生(sheng)長(chang)出高質(zhi)量(liang)的單晶，因(yin)此(ci)創(chuang)造(zao)良好(hao)的熱場條件，在(zai)直拉單晶工藝(yi)上(shang)有非常(chang)重要(yao)的(de)因(yin)素(su)。石(shi)墨(mo)是單晶生(sheng)長(chang)的載(zai)體，石(shi)墨(mo)在(zai)直拉單晶生(sheng)長(chang)爐(lu)中(zhong)以(yi)高純(chun)石(shi)墨(mo)和(he)等(deng)靜壓石(shi)墨(mo)加(jia)工件為(wei)主。

根據實際(ji)情況(kuang)的需(xu)要，熱場的大(da)小(xiao)根(gen)據石(shi)英坩堝的(de)直徑(jing)大(da)小(xiao)來劃分的(de)，目前(qian)我(wo)國熱場從φ12"~φ28"都有，壹(yi)般(ban)情況(kuang)下φ18"~φ22"居(ju)多。

我(wo)們(men)在(zai)這(zhe)裏所(suo)講(jiang)的(de)單晶爐(lu)的熱系(xi)統就是所謂(wei)的熱場，熱場壹(yi)般(ban)包(bao)括(kuo)壓環(huan)、保溫蓋、上(shang)中(zhong)下保(bao)溫罩(zhao)、（三(san)瓣式(shi)）石(shi)墨(mo)坩堝、坩堝托(tuo)桿、坩堝托(tuo)盤(pan)、電極(ji)、加熱器(qi)、導(dao)流(liu)筒(tong)、石(shi)墨(mo)螺(luo)栓(shuan)，未來防止漏矽，爐(lu)底、金(jin)屬電極(ji)、托(tuo)桿都設(she)置了(le)保(bao)護(hu)板(ban)和(he)保護(hu)套。

1、加熱器(qi)

加(jia)熱器(qi)是熱場中(zhong)很(hen)重(zhong)要(yao)的(de)部(bu)件，是直接(jie)發(fa)熱體(ti)，溫度較(jiao)高的時候可以(yi)達到(dao)1600度以(yi)上。常(chang)見的(de)加(jia)熱器(qi)有三(san)種形(xing)狀(zhuang)，筒狀(zhuang)、杯狀(zhuang)、螺旋(xuan)狀(zhuang)。壹(yi)般(ban)情況(kuang)下，加(jia)熱器(qi)采用(yong)的高(gao)純(chun)石(shi)墨(mo)加(jia)工。

2、石(shi)墨(mo)電極(ji)

石(shi)墨(mo)電極(ji)的作用(yong)平穩固(gu)定(ding)加(jia)熱器(qi)並(bing)通過他歲加(jia)熱器(qi)輸(shu)送(song)電流(liu)。因(yin)此(ci)在(zai)電極(ji)要厚重，結(jie)實耐(nai)用(yong)、表面要(yao)光滑(hua)平穩，保(bao)證(zheng)良好(hao)的接(jie)觸(chu)面，通電時不打火，石(shi)墨(mo)電極(ji)也是有高純石(shi)墨(mo)加(jia)工的(de)。

3、石(shi)墨(mo)坩堝、石(shi)墨(mo)托(tuo)桿、石(shi)墨(mo)托(tuo)盤(pan)

坩堝托(tuo)桿、坩堝和(he)托(tuo)盤(pan)共同(tong)構(gou)成(cheng)了(le)石(shi)墨(mo)坩堝的(de)支(zhi)撐(cheng)體，要(yao)求(qiu)和(he)下軸(zhou)結(jie)合牢固(gu)，對(dui)中(zhong)性良好(hao)在(zai)下(xia)軸進行轉動時，托(tuo)桿及(ji)托(tuo)盤(pan)的(de)擺渡(du)小(xiao)於等(deng)於0.5mm石(shi)墨(mo)支(zhi)撐(cheng)體的(de)高(gao)度(du)是可以(yi)調(tiao)節的。

4、保溫(wen)罩

保溫罩(zhao)分(fen)為(wei)上、中(zhong)、下保(bao)溫罩(zhao)，保溫罩是由壹(yi)個(ge)保溫(wen)筒(tong)外(wai)面包(bao)裹(guo)石(shi)墨(mo)碳氈而成，石(shi)墨(mo)碳氈的包(bao)裹(guo)的(de)層(ceng)數根據情況(kuang)而定(ding)。下(xia)保(bao)溫(wen)罩(zhao)組(zu)成了(le)底部(bu)的(de)保溫系統(tong)，它(ta)作用(yong)是加強鍋(guo)底保溫(wen)，提高(gao)堝底(di)溫(wen)度，減(jian)少熱量(liang)損失(shi)。

5、保溫(wen)蓋、導(dao)流(liu)筒(tong)

保(bao)溫蓋有保溫上蓋、保(bao)溫(wen)碳氈和(he)保溫(wen)下蓋組(zu)成，即(ji)兩層環(huan)狀(zhuang)石(shi)墨(mo)之(zhi)間(jian)夾(jia)壹(yi)層石(shi)墨(mo)碳氈組(zu)成。導(dao)流(liu)筒(tong)主要是未來控制熱場的溫(wen)度(du)梯度和(he)引導(dao)氬氣流(liu)。

6、壓環(huan)

石(shi)墨(mo)壓環(huan)由幾截(jie)弧形(xing)構(gou)成(cheng)的圓(yuan)形(xing)環(huan)狀(zhuang)石(shi)墨(mo)件，放置在(zai)蓋板(ban)與爐(lu)壁接觸(chu)處，是為(wei)了防(fang)止熱量(liang)和(he)氣體(ti)從壁爐(lu)與蓋板(ban)的(de)縫(feng)隙間(jian)的(de)通過。