精(jing)密(mi)石墨(mo)模具加工(gong)在石墨(mo)化(hua)溫度(du)上的處理(li)
    壹般的(de)石墨(mo)化(hua)處理(li)是(shi)升(sheng)溫到2400-2800℃然後冷(leng)卻(que)，低沸點的雜質(zhi)如(ru)Si、Ca、Al和(he)Mg都蒸(zheng)騰(teng)掉(diao)了(le)。較費(fei)事(shi)的(de)是(shi)難(nan)熔金屬(shu)，它們(men)構(gou)成高(gao)熔點的碳化(hua)物，壹(yi)般(ban)這類(lei)碳(tan)化(hua)物在(zai)石墨(mo)化(hua)溫度(du)下(xia)是(shi)不分解(jie)的。硼(peng)的熱中子(zi)吸收截面(mian)很(hen)高(gao)（75MPa)，構(gou)成的(de)碳化(hua)物熔(rong)點達(da)2350℃，但(dan)壹直(zhi)到(dao)3500℃還(hai)不歡(huan)娛(yu)，並在(zai)石墨(mo)結構(gou)中構(gou)成安穩(wen)的(de)置換式固溶體，釩吸(xi)收截面(mian)為(wei)0.5MPa，構(gou)成的(de)碳化(hua)物到(dao)2800℃還(hai)不熔(rong)化(hua)。精(jing)密(mi)石墨(mo)模具加工(gong)的純(chun)化(hua)是(shi)選(xuan)用(yong)改(gai)善(shan)的艾(ai)其遜爐，工(gong)作溫度在2400~2800℃。筆(bi)直安放(fang)的(de)精(jing)密(mi)石墨(mo)模具加工(gong)之間有(you)恰當的(de)空位，在(zai)這些空(kong)位內填(tian)以焦(jiao)炭(tan)電(dian)阻體。當電(dian)流沿(yan)爐子(zi)縱(zong)向流(liu)過(guo)期，熱量主(zhu)要在(zai)焦(jiao)炭(tan)電(dian)阻體上發生。精(jing)密(mi)石墨(mo)模具加工(gong)由起電(dian)阻效果的(de)壹(yi)層焦(jiao)炭(tan)包(bao)圍(wei)起來(lai)，外(wai)面(mian)的絕緣層(ceng)是(shi)SiC粒(li)、塊(kuai)和(he)焦(jiao)炭(tan)以及(ji)砂子(zi)的混(hun)合物。
    凈(jing)化(hua)爐中(zhong)的全部(bu)填(tian)料(liao)和(he)絕緣材(cai)料都由石油焦(jiao)制成。圖(tu)中(zhong)A、D、E是(shi)絕緣區，由低滲透性(xing)的(de)顆粒(li)和(he)粉末(mo)組成(cheng)，用(yong)以阻隔(ge)氣(qi)體。區域B和(he)C只填顆粒(li)，氣(qi)體可以悠閑經(jing)過(guo)。鹵素氣(qi)體經(jing)過(guo)管子(zi)引(yin)到爐子(zi)的底部(bu)，在(zai)那(na)裏(li)顆粒(li)疏松的(de)區域B有(you)助於氣體均勻分布。蒸(zheng)騰(teng)的(de)鹵(lu)素(su)化(hua)合物和(he)剩(sheng)余(yu)的(de)鹵(lu)素(su)氣體集合到角(jiao)錐(zhui)區C，由煙罩(zhao)搜(sou)集，經(jing)過(guo)洗(xi)凈(jing)器(qi)畢(bi)竟排(pai)到(dao)外面(mian)。減(jian)速(su)劑石墨(mo)的含(han)硼(peng)量應小(xiao)於或等(deng)於1ug，硼(peng)是(shi)最壞(huai)的(de)汙染(ran)物。雜質(zhi)硼(peng)要求(qiu)用(yong)氟(fu)凈(jing)化(hua)，反應溫(wen)度(du)有(you)必(bi)要(yao)在(zai)2500℃以上，這時(shi)雜(za)質(zhi)在固體中的(de)懈怠速(su)率(lv)才(cai)調(tiao)高(gao)到使內部(bu)雜(za)質(zhi)活絡懈(xie)怠遷移到(dao)晶(jing)體表面(mian)，與(yu)氣(qi)體進(jin)行(xing)反(fan)應。凈(jing)化(hua)爐有(you)必(bi)要(yao)用(yong)惰(duo)性氣(qi)體沖刷(shua)，直到(dao)低於石墨(mo)氧化(hua)溫度(du)接(jie)連(lian)。氣體凈(jing)化(hua)的動(dong)力學標明(ming)懈(xie)怠是(shi)其(qi)自約(yue)要素，因(yin)而(er)有(you)必(bi)要(yao)避(bi)免(mian)內部(bu)初始(shi)雜質(zhi)的濃度(du)過(guo)大(da)。